儀器服務 > 收費標準
儀器服務 > 收費標準
| 國立清華大學國防科技學研中心 儀器收費表 | ||||
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| ***所有儀器使用均需酌收每人500元/日入場費*** | ||||
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他 | ||
| 電子鎗真空蒸鍍系統 (E-gun System) |
委託代工 | 開機費(2hr) | 2,500 元/次 | 4,000 元/次 |
| 超過開機時間加收費用 | 1,500 元/時 | 2,000 元/時 | ||
| 自行操作 | 開機費 | 1,500 元/次 | |
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| (2hr) | ||||
| 超過開機時間加收費用 | 1,000 元/時 | |||
| 操作訓練(包含3次訓練+1次實作+靶材費用) | 4,000 元/人 | |||
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靶材費用另計 | 使用靶材 | 收費標準(Å) | |
| 金(Au) | 2.5 NTD | |||
| 鉑(Pt) | 1.5 NTD | |||
| 銀(Ag) | 1 NTD | |||
| 其他金屬(Al,Cr,Ni,Ti) | 0.5 NTD | |||
| 數位顯微鏡 (OM) | 委託代工 | 1,500 元/樣品 | 3,000 元/樣品 | |
| 自行操作 | 500 元/時 | 1,500 元/時 | ||
| 須接受本實驗室之訓練及通過考核/操作訓練 2,000 元/人 | ||||
| 雙面光罩對準曝光機 (Double Side Aligner) |
委託代工 | 開機費(2hr) | 100 元/分 | 200 元/分 |
| 超過開機時間加收費用 | 120 元/分 | 250 元/分 | ||
| 自行操作 | 費用 | 50 元/分 | 100 元/分 | |
| 操作訓練 | 800 元/次 | |||
| 氣相層析質譜儀 (GC-MS) |
委託代工 | 費用 | 700 元/時 | 1,400 元/時 |
| 自行操作 | 費用 | 140 元/時 | 300 元/時 | |
| 儀器使用時間，從樣品置入真空中開始計算 (特殊服務的換裝管柱時間也一併計算）至測定結束止，使用時間以 1 小時為一基本單位，不足以直接進位計算。 | ||||
| 雷射粒徑分析儀 (Laser Particle Sizers) |
委託代工 | 費用 | 1,500 元/件 | 2,500 元/件 |
| 自行操作 | 費用 | 1,000 元/件 | 2,000 元/件 | |
| 須接受本實驗室之訓練及通過考核/操作訓練 2,000 元/人 | ||||
| 測量粒徑範圍 0.5 - 1500 μm，樣品數量: 大約10 mg（μm範圍）至幾克（mm範圍），具體取決於樣品材料和粒徑，測量時間: 1 min (完整測量循環)，儀器內量測再現性: d50 ≤ 0.5%，設備內建溫度量測系統，可在軟體中顯示溫度結果。 | ||||
| 萬能材料試驗機 (UTM) |
委託代工 | 常溫 (以 1 件樣品收費) | 300 元/件 | 600 元/件 |
| 高低溫: -50C~300C (以 1 件樣品收費) | 800 元/件 | 1,600 元/件 | ||
| 常溫疲勞試驗 (以 1 件樣品收費) | 6,000 元/件 | 12,000 元/件 | ||
| 自行操作 | 常溫 (以 1 件樣品收費) | 300 元/件 | |
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| 高低溫: -50C~300C (以 1 件樣品收費) | 800 元/件 | |||
| 操作訓練(包含 1次訓練 + 2次實作 + 低溫氮費用)，並實驗時需至少2人以上，以策安全 | 2,500 元/人 | |||
| 低溫氮費用另計 | 若有溫度相關條件之試驗，另計 | |||
| 旋塗機 (Spin coater) | 自行操作 | 費用 | 500 元 / 人 | 700 元 / 人 |
| 門禁費（每人每日 500元）另計 | ||||
| 黃光代工 | ||||
| (正常交期一週, 加急件三天交貨雙倍收費) (以下價格已內含代工費) P.S. 非新晶圓委託代工，恕不負試片損壞之連帶責任 |
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| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 業界 | ||
| 塗覆傳統光阻 (含標準清潔與顯影液使用) (代工費為200元/片) | 一般光阻(AZ5214或自備光阻)塗佈 | 150 元/片 | 200 元/片 | |
| 厚膜光阻塗佈光阻厚(5um 以下) | 225 元/片 | 300 元/片 | ||
| 光阻厚度5um -25um | 300 元/片 | 400 元/片 | ||
| 其他範圍者另議 | ||||
| 雙面光罩對準機(Double Side Aligner)(代工費為30%) | 基本代工(兩小時內) | 4,410 元/次 | 5,800 元/次 | |
| 超時收費 （兩小時以上） | 2,175 元/時 | 2,900 元/時 | ||
| 嚴格禁止破片放入 | ||||